1.汞燈位置調(diào)節(jié)

　　汞燈位置調(diào)節(jié)在換燈后或燈位置變動(dòng)時(shí)會(huì)改變照明的均勻性和照明的光強(qiáng)，這時(shí)調(diào)節(jié)三維燈座臺(tái)，使汞燈球體位于橢球鏡的焦點(diǎn)上，這時(shí)照明強(qiáng)度大，均勻性好。

　　2.NXQ4006光刻機(jī)的開(kāi)機(jī)準(zhǔn)備

　?。?）.供給機(jī)器的電源配電插座應(yīng)有220伏的供電能力，在總電源插頭插上后，機(jī)柜已通電。

　?。?）.開(kāi)啟空氣壓縮機(jī)和真空泵，要求：供氣壓力大于0.4Mpa（表壓）,真空度高于-0.06Mpa。

　　3．開(kāi)機(jī)正常工作時(shí)，先按“汞燈電源”紅色按鈕，啟輝汞燈，如其指示燈亮，但汞燈未點(diǎn)燃（也屬正常），可再按“觸發(fā)”按鈕，將汞燈點(diǎn)燃。汞燈點(diǎn)燃30分鐘后才能穩(wěn)定。按下“控制電源”紅色按鈕，控制電源打開(kāi)，幾秒鐘后面板上的“復(fù)位”鍵指示燈亮，曝光時(shí)間顯示默認(rèn)值“0060.0”，表明控制系統(tǒng)工作正常。

　　4．上片將樣片放到承片臺(tái)上，打開(kāi)“小硅片”氣動(dòng)開(kāi)關(guān)(對(duì)于4寸片，還需打開(kāi)“大硅片”)氣動(dòng)開(kāi)關(guān)，樣片被吸緊，反時(shí)針旋轉(zhuǎn)曝光間隙調(diào)節(jié)手輪，使樣片低于掩模面；將掩模放到掩模吸盤(pán)上，按“掩模”按鈕（指示燈亮），掩模被吸緊。

　　5．調(diào)平按“氣浮”按鈕（指示燈亮），球氣浮吹氣，順時(shí)針旋曝光間隙調(diào)節(jié)手輪直至樣片與掩模貼緊，再按“氣浮”按鈕（指示燈滅），球氣浮被鎖緊，樣片被調(diào)平，在球氣浮被鎖緊的過(guò)程中掩模和樣片間會(huì)分離一定的間隙，可直接進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)。

　　6．曝光時(shí)間設(shè)定按下“設(shè)定”鍵，指示燈亮，同時(shí)曝光時(shí)間（或劑量）顯示的百位數(shù)字閃爍，可按“+”“-”鍵對(duì)曝光時(shí)間的位數(shù)調(diào)整，調(diào)整好后，再次、按設(shè)定（SET）鍵可進(jìn)行下一位數(shù)字調(diào)整，當(dāng)調(diào)整完后一位時(shí)，再按“設(shè)定”鍵，退出“時(shí)間—劑量”設(shè)定，按“時(shí)間”或“劑量”鍵，可進(jìn)行曝光操作（或定劑量曝光）。

　　曝光過(guò)程中，顯示窗顯示曝光狀態(tài)的。

　　7．對(duì)準(zhǔn)調(diào)節(jié)

　　7.1顯微鏡對(duì)準(zhǔn)一般來(lái)說(shuō)調(diào)平完成被鎖緊后（關(guān)“氣浮”，掩模和樣片間存在一定的）間隙，可直接進(jìn)行對(duì)準(zhǔn)，但如果調(diào)平頂緊的力過(guò)大或過(guò)小，則調(diào)平完成被鎖緊后，對(duì)準(zhǔn)間隙可能過(guò)大或過(guò)小，這種情況下，可旋轉(zhuǎn)調(diào)焦手輪，調(diào)節(jié)出合適的對(duì)準(zhǔn)間隙—即保證掩模和樣片的對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記都能成清晰像，且作對(duì)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)時(shí)掩模和樣片不摩擦（掩模和樣片不一起運(yùn)動(dòng)）。

　　對(duì)準(zhǔn)臺(tái)分三部分，下層為整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)（樣片和掩模一起作整體運(yùn)動(dòng)，能保證掩模和樣片對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)入到顯微鏡的視場(chǎng)內(nèi)，也可用于增大曝光面積）；中心為轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)旋轉(zhuǎn)手輪可使承片臺(tái)相對(duì)掩模旋轉(zhuǎn)；上層為相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)，旋轉(zhuǎn)其手輪，可使掩模相對(duì)于樣片作X、Y對(duì)準(zhǔn)運(yùn)動(dòng)。對(duì)準(zhǔn)顯微鏡的使用見(jiàn)“顯微鏡使用說(shuō)明書(shū)”。

　　7.2CCD對(duì)準(zhǔn)調(diào)平完成后首先分離出合適的對(duì)準(zhǔn)間隙。

　　對(duì)于薄膠：其操作基本和顯微鏡對(duì)準(zhǔn)一樣，所不同的是其觀察是通過(guò)計(jì)算機(jī)監(jiān)視器。

　　對(duì)于厚膠：首先移動(dòng)整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)，掩模對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記進(jìn)入到CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)的測(cè)量視場(chǎng)內(nèi)（好兩個(gè)標(biāo)記基本都位于CCD視場(chǎng)的中心），通過(guò)計(jì)算機(jī)采集掩模對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像并保存。調(diào)焦，使樣片對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記在計(jì)算機(jī)監(jiān)視器上成清晰像，調(diào)節(jié)對(duì)準(zhǔn)手輪（作掩模和樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)X、Y、θ），使樣片對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記與保存的掩模對(duì)準(zhǔn)標(biāo)記的像相一致。

　　8．關(guān)機(jī)關(guān)機(jī)的順序和開(kāi)機(jī)相反，先關(guān)掉控制系統(tǒng)電源，再關(guān)掉汞燈電源。

　　9．操作警告

　　不要在控制系統(tǒng)工作的情況下啟輝汞燈，以免損壞電氣系統(tǒng)。

　　操作過(guò)程中出現(xiàn)控制紊亂或死機(jī)，按面板上“復(fù)位”鍵，幾秒鐘后，系統(tǒng)重新復(fù)位。

　　汞燈要及時(shí)更換，以免出現(xiàn)其他事故。汞燈的壽命一般為200-300小時(shí)。一般說(shuō)來(lái)，如汞燈位置處于好的狀態(tài)，可變光欄又開(kāi)到z大位置，而照明面的光強(qiáng)（365nm）小于7mW/cm2，則必須更換汞燈。

　　以上便是今天關(guān)于集結(jié)號(hào)：NXQ4006光刻機(jī)的操作步驟及工作過(guò)程的全部分享了，希望對(duì)大家今后使用本設(shè)備能有幫助。